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溅射膜压力传感器对照粘贴式应变压力与分散硅压力的上风

宣布时候:2018-12-26      宣布人:泽天传感      点击:

压力传感器的制作工艺浩繁、流程复杂,一样接纳应变道理的压力传感器,从制作工艺上能够分为粘贴应变式(应变片)、半导体分散硅压阻式和溅射薄膜式。这些差别工艺的压力传感器,上面由泽天传感为您扼要的论述各自的长处与错误谬误。

粘贴应变式(应变片)压力传感器降生已半个世纪,是最早出产的压力传感器范例。其道理错误谬误是接纳无机高份子基底与粘胶,不耐低温且持久不变性差,蠕变大,普通用于廉价位,请求不高的丈量体系。半导体分散硅压阻式压力传感器是接纳半导体工艺在硅片上分散制成敏感元件,经引线、充硅油封装成压力敏感芯体。将压力敏感芯体经由过程“O”型橡胶密封圈封装到压力接嘴内构成压力传感器。它的任务道理是:当压力感化到敏感芯体时引发分散电阻的电阻率变更从而引发敏感电阻的变更,完成压力变更转换成电旌旗灯号的变更。产物长处是适于多量量出产、本钱低、输入大、适于微压、高压种类。但错误谬误也很凸起,起首因为它的敏感电阻是由半导体硅分散而成,是以它的电阻温度系数极差,当温度跨越85℃温度弥补很是坚苦,低于-45℃时分散硅的电阻率变更及大且无纪律,没法知足情况耐温请求。其次因为半导体硅的易脆性和接纳断绝膜充硅油封装的缘由,产物不能抗高强度的震撼和打击,频次呼应也较低。

溅射膜压力传感器

溅射薄膜压力传感器是近二十余年来薄膜手艺与半导体手艺综合而成长起来的高不变种类。它的压力敏感芯体是操纵离子束溅射成膜装备在高强度耐蚀不锈钢积淀绝缘及敏感薄膜,代替传统粘贴式无机化合基底及金属敏感栅,而后溅射掩护膜掩护敏感膜而构成的。其次薄膜压力传感器是经由过程激光焊接或等离子焊接的方法将敏感芯体和不锈钢压力接嘴焊接成一个全体,是以溅射薄膜压力传感用具备以下特色:

1、溅射膜压力传感器持久不变性好、任务温度宽、精度高、反复性好, 因为绝缘膜和基底、敏感膜与绝缘膜之间是间接在高真空情况内淀积在一路,各薄膜层间是原子力的连系,消弭了粘贴胶带来的蠕变影响,同时敏感膜在高真空情况内获得二氧化硅掩护膜掩护,故特色是精度高、反复性好、持久不变性好,任务温度宽(经由过程差别的设想能够到达耐温-200℃∽400℃的压力敏感芯体)。可持久在低温高压下任务。

2、 溅射膜压力传感器耐高强度震撼和打击、不泄露、耐侵蚀,因为薄膜压力传感器是经由过程激光焊接或等离子焊接的方法将敏感芯体和不锈钢压力接嘴焊接成一个全体,是以溅射薄膜压力传感器不任何“O”型橡胶密封圈,也不充硅油,压力介质间接感化在耐蚀不锈钢敏感芯体上,产物经得起高强度的震撼和打击,绝无泄露的风险。

3、溅射膜压力传感器温度特征好,薄膜压力传感器因为接纳半导体工艺手艺和激光调阻手艺,操纵电桥自弥补特征,在-200℃∽400℃全温区规模内温漂小于0.02%/℃。

4、溅射膜压力传感器丈量实在、频响高 ,因为压力介质间接感化在耐蚀不锈钢敏感芯体上,无断绝膜和充灌液,是以丈量实在、频响高。经由过程设想频响可达20KHZ以上。

溅射薄膜压力传感器很是合适大批称压力的丈量,可是,在压气力程400KPA以下,普通不合适利用溅射薄膜压力传感器。本文源自泽天传感,版权一切,转载请保留来由。