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新型薄膜温度、薄膜低温压力传感器的研制

宣布时候:2020-1-18      宣布人:泽天传感      点击:

被称为“第三代传感器”的薄膜压力传感器,是外洋80年月后针对新型兵器设备的成长而开辟的传感器新种类,其优胜的耐卑劣情况机能遭到天下列国的正视。

薄膜低温压力传感器:在超音速飞翔器中,液压体系是飞机的关头体系之一,液压体系接纳液压油作为任务介质,一旦液压油的压力消逝,飞机将没法完成飞机的节制和下降。该研制产物用于丈量高达200℃的低温流体。其首要研制难点是情况温度高,压力高,振动强,电磁搅扰大。研讨线路是在现有的手艺根本上,研讨处理敏感资料和薄膜的耐低温题目,处理强电磁搅扰题目。

薄膜低温压力传感器

薄膜低温热传播感器:用于丈量飞机壳体在崇高高贵音速飞翔状态与氛围摩擦所产生的热量。机载实验约莫须要利用300多个传感器以丈量壳体差别外形部位的热况,定型飞机的安康办理体系中依然须要利用多个传感器监测关头部位的发烧状态。该手艺功效还可用于弹头资料的设想实验。其首要研制难点是任务温度高达1200℃,呼应时候小于100μs,且请求体积轻盈,便于与机壳紧固装配。研讨线路是接纳离子束溅射和干法刻蚀手艺在陶瓷基片上建造热敏电阻薄膜电桥,差别桥臂上再淀积差别厚度的阻热薄膜,以别离感测聚积热量和瞬变热量,经由过程电桥输入必然面积内的瞬变温度,再经由过程微电路转换成热量旌旗灯号输入。

薄膜推力传感器:在超音速飞翔器中,有多个反感化力节制体系、空中变轨和姿势节制体系,这些体系都是经由过程放射高压气体来调理、节制飞翔器的姿势和运转轨道,薄膜推力传感器用于丈量放射气体时产生的反推力。该传感器的首要研制难点是呼应时候要到达2ms,并可丈量高速脉动气体而不产生自振效应。研讨线路是设想一种异型布局的圆柱形支持应变体,在聚酰亚胺薄膜上建造金属电阻应变薄膜电桥,将应变电桥粘接到柱形应变体上构成传感器,防止传统的悬臂梁传感器在遭到反复的脉冲力感化时产生谐振的题目,同时圆柱体中间可间接穿过气体喷管,处理传统的丈量装配须要将喷管曲折的题目,进步丈量的实在性和精确度。

薄膜一体化低温压力温度传感器:用于测试飞机上RCS体系中储气瓶内及输气管道内的压力和温度。RCS体系用于飞机姿势的调剂,高压储气瓶内压力高达60MPa,输气管道内的压力为5MPa,因为在高压储气瓶上开多个接口会影响气瓶的强度,是以要在一个接口上完成压力和温度的同时丈量,减少产物体积、加重零件产物分量。每架约莫有4-8个通道须要装配该产物。其首要研制难点是丈量介质压力高、请求全体尺寸小,情况振动强、电磁搅扰强。研讨线路是接纳离子束溅射和干法刻蚀手艺在不锈钢弹性基片上同时建造压力敏感电桥和热敏薄膜电阻,在弹性基片上镀制多层不变的薄膜构成压力-温度敏感元件,再经由过程微电路转换成精确的规范旌旗灯号输入。

薄膜疾速呼应温度传感器:用于飞机液压体系液压油温的丈量。该传感器的首要研制难点是,敏感元件要设想在可蒙受40MPa高压的防护壳内,呼应时候要小于100mS。研讨线路是接纳离子束溅射和干法刻蚀手艺在疾速传热的基片上建造热敏薄膜电阻。本文源自泽天传感,转载请保留来由。